MEMS超微型光譜儀--中國臺灣超微光學（OtO）

光譜儀是將成分復雜的光按照波長分解成可見光、紅外線、紫外線、微波及X光等，通過光譜儀對光信息的抓取，量測方法包含穿透率、反射率、吸收度、拉曼光譜等，以電腦軟體顯示光譜和數值，對光源或樣品的成分或結構進行分析。光譜儀僅是一個光譜采集的模塊，任何光譜應用的解決方案都需要配套光源、探頭，光纖，比色皿，采樣部件，操作軟件。

超微型系列 (UltraMicro Series – UM系列)

中國臺灣超微光學( OtO Photonics Inc.)實現光譜儀輕量化的關鍵在于，以微型晶片光柵取代傳統光譜儀「準直面鏡-平面光柵-聚焦面鏡」架構，僅需一微型晶片光柵即能完成分光及聚焦的功能。

我們利用：(1)光路系統模擬，開發出非球面(凹面)及消除二階繞射光與雜散光設計；(2)經由演算法計算其曲率與光跡，可消除像差并提高解析度； (3)采半導體深蝕刻制程技術制造；(4)*雜散光校正演算法；(5)使用高靈敏度線型感測器；(6)自由選配Wi-Fi模組；

達到體積極小(zui輕僅19 gw、zui小僅23 x 31 x 8.5 mm3)、寬波段(達200?900nm)、高感度、高分辨率及低雜散光(<0.5%)等五大優勢。使用者可使用8到16 pin接頭外接電纜控制CCD感測器，提供各種系統整合之彈性，做為嵌入式光譜量測，實現掌上型智慧光譜系統！

• 超微型系列光譜儀之光學架構